illustratorでデータを作成し、25,400dpiで描画したマスクフィルムの寸法精度を測定しました。
今回の描画と測定内容は、細い線です。

白地に黒い線と、黒地に白い線のデータをイラストレーターで作成し、
解像度25,400dpiにて描画したマスクフィルムの線幅を顕微鏡で測定しました。

細い線の寸法精度測定結果

0.020mmライン(Aiデータ)

データの線幅    実測値            実測値
(Aiデータ)      (黒線描画)        (黒ベタ内透明線)
0.020mm       0.020mm        0.020mm

 

 

 

 

0.015mmライン(Aiデータ)

データの線幅    実測値            実測値
(Aiデータ)      (黒線描画)        (黒ベタ内透明線)
0.015mm       0.016mm        0.015mm

 

 

 

 

0.010mmライン(Aiデータ)

データの線幅    実測値            実測値
(Aiデータ)      (黒線描画)        (黒ベタ内透明線)
0.010mm       0.011mm        0.010mm

 

 

 

 

0.008mmライン(Aiデータ)

データの線幅    実測値            実測値
(Aiデータ)      (黒線描画)        (黒ベタ内透明線)
0.008mm       0.009mm        0.008mm

 

 

 

 

0.005mmライン(Aiデータ)

データの線幅    実測値            実測値
(Aiデータ)      (黒線描画)        (黒ベタ内透明線)
0.005mm       0.006mm        0.004mm

※写真を撮るのが難しく、左の写真では透明線が見えないですが、線は存在していました。

 

 

 

※測定には工具顕微鏡(200倍)を使用したため、0.001mm程度の測定誤差があります。