微細加工(MEMS等)や光のマスクを行うための高解像度フォトマスクフィルム(フィルムマスク)を製作しています

情報とお知らせ

技術的な情報

キズ検査用ケージ

マスクフィルムの用途として、 キズ検査用ゲージがあります。 下の写真は、面積ゲージの例です。               様々な形状のデータを作成しな …

マスクフィルムの外形加工(抜き加工)

描画したマスクフィルムを、高解像度な印刷物として ご使用いただく場合、フイルムの外形加工が必要になると思います。 フイルムの外形加工は、主に2種類の方法があります。 抜き加工(ビク型、ピナクル型)とレーザ加工です。 今回 …

小さいQRコード(極小QRコードの続き)

マスクフィルムの高解像度を利用して、小さいQRコードを作りました。 前回は 0.5 x 0.5 mmまでのQRコードを描いています。 今回はフイルム上に、どこまで小さいQRコードが描画できるか(拡大して認識できるか)を …

マスクフィルムの寸法精度測定
(細線の線幅、イラストレーターで作成したデータ)

illustratorでデータを作成し、25,400dpiで描画したマスクフィルムの寸法精度を測定しました。 今回の描画と測定内容は、細い線です。 白地に黒い線と、黒地に白い線のデータをイラストレーターで作成し、 解像度 …

マスクフィルムの断面構造

レーザにて描画後のマスクフィルムの断面構造は下図の様になっています。 レーザフォトプロッタで出力した マスクフィルムのベースフイルム厚さは 約0.175mmです。 イメージセッターで出力したマスクフィルムの ベースフイル …

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